Massenfluss-Sensoren für Anwendungen in der Wasserwirtschaft in der Medizin- und der Prozesstechnik

Das Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT) in Itzehoe ist eine der europaweit modernsten Forschungseinrichtungen für Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Herzstück des Instituts ist der 3.000 m2 große Reinraum.

Die Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter entwickeln und fertigen dort in enger Zusammenarbeit mit Partnern aus der Industrie Mikrochips für die Elektronikindustrie. Ein besonderer Arbeitsschwerpunkt des ISIT ist dabei die Mikrosystemtechnik.

Mit Verfahren, die aus der Herstellung von Siliziumschaltkreisen stammen, entwickelt das Institut Bauelemente mit feinsten dreidimensionalen Strukturen für die Sensorik (Druck, Beschleunigung, biochemische Analytik etc.) und die Aktorik (Ventile, Pumpen, Scanner etc.) einschließlich der dazu notwendigen Elektronik und Gehäusetechnik.