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Jenoptik investiert in Fertigungsanlage für die Halbleiterausrüstungsindustrie
Der Photonik-Konzern Jenoptik investiert in eine Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage („E-Beam“) für die derzeit entstehende Hightech-Fab in Dresden. Mit ihrer Hilfe werden zukünftig hochpräzise mikrooptische Komponenten für Kunden aus dem Halbleiterbereich und der optischen Kommunikation hergestellt. Die Anlage wird Anfang 2025 von der in Jena ansässigen Vistec Electron Beam GmbH geliefert.
Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage „Vistec SB3050-2“ für die Hightech-Fab von Jenoptik in Dresden
© vistec/peter eichler photography
Kleinste Strukturen mit höchster Präzision
Die Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage kann Strukturen mit einer Präzision im 10-Nanometer-Bereich (ungefähr 1/2.000stel eines Haares) auf bis zu 300 mm großen Substraten „schreiben“. Sie basiert auf dem sogenannten variablen Formstrahl-Prinzip, mit dem auch große Flächen hochgenau und effektiv strukturiert werden können. Hinzu kommen ein hoher Automatisierungsgrad und Flexibilität bei den nutzbaren Substraten.
Jenoptik bündelt Fertigung in Dresden
Jenoptik ist bereits seit 2007 in Dresden aktiv. Mit der neuen Hightech-Fab im Airportpark Dresden bündelt das Unternehmen seine über mehrere kleine Außenstandorte verteilte Fertigung. Gleichzeitig werden die Kapazitäten erweitert. 2.000 Quadratmeter Reinraumproduktion mit Bereichen der Klassen ISO 5 und 3 genügen höchsten Anforderungen an Schwingungsfreiheit und Temperaturkonstanz.
Für die gesamte Fab werden hohe Umweltstandards berücksichtigt: Jenoptik will die aktuell umfassendsten und strengsten Gebäude-Kriterien in Sachen Nachhaltigkeit erfüllen – den „KfW 40 Standard“ und die „LEED Gold-Standard Zertifizierung“. Gleichzeitig entstehen hochwertige Arbeitsplätze für insgesamt mehr als 120 Beschäftigte. Die sächsische Landeshauptstadt wird so zum Hauptstandort für den Bereich Mikrooptik.
Jenoptik
Jenoptik ist ein global agierender Photonik-Konzern und in den beiden Divisionen Advanced Photonic Solutions und Smart Mobility Solutions aktiv. Die nicht-photonischen, insbesondere auf den Automobilmarkt ausgerichteten Aktivitäten werden unter den Non-Photonic Portfolio Companies als eigenständige Marken geführt. Zu den Schlüsselmärkten zählen vor allem Halbleiter & Elektronik, Life Science & Medizintechnik sowie Smart Mobility.
Mehr als 4.400 Mitarbeiter (Geschäftsjahr 2022) arbeiten weltweit im Jenoptik-Konzern. Hauptsitz ist Jena.
jenoptik.de
Jenoptik ist ein global agierender Photonik-Konzern und in den beiden Divisionen Advanced Photonic Solutions und Smart Mobility Solutions aktiv. Die nicht-photonischen, insbesondere auf den Automobilmarkt ausgerichteten Aktivitäten werden unter den Non-Photonic Portfolio Companies als eigenständige Marken geführt. Zu den Schlüsselmärkten zählen vor allem Halbleiter & Elektronik, Life Science & Medizintechnik sowie Smart Mobility.
Mehr als 4.400 Mitarbeiter (Geschäftsjahr 2022) arbeiten weltweit im Jenoptik-Konzern. Hauptsitz ist Jena.
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Vistec Electron Beam GmbH
Die Vistec Electron Beam GmbH mit Sitz in Jena ist Hersteller und Lieferant von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen, die auf dem Prinzip des variablen Formstrahls basieren. Sie kommen sowohl in der Halbleiterindustrie als auch in der angewandten Forschung zum Einsatz. Technische Lösungen wie effiziente Daten-Prozessierung oder schnelles Schreiben von Wiederholstrukturen (Zellprojektion) eröffnen neue Anwendungsmöglichkeiten z.B. für AR/VR. Weitere Anwendungen sind die Mikro- und Nanoelektronik, Mikrooptik, integrierte Optik, Photonik, Metamaterialien und Nano- und Biotechnologien. Aufgrund eines automatisierten Handlings, hoher Flexibilität, Schreibgenauigkeit und Produktivität eignen sich die Anlagen auch für Prototypen- und Kleinserienfertigung.
Neben dem Hauptstandort Jena betreibt die Firma Service & Support Zentren in Asien, USA und Europa.
vistec-semi.com
Die Vistec Electron Beam GmbH mit Sitz in Jena ist Hersteller und Lieferant von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen, die auf dem Prinzip des variablen Formstrahls basieren. Sie kommen sowohl in der Halbleiterindustrie als auch in der angewandten Forschung zum Einsatz. Technische Lösungen wie effiziente Daten-Prozessierung oder schnelles Schreiben von Wiederholstrukturen (Zellprojektion) eröffnen neue Anwendungsmöglichkeiten z.B. für AR/VR. Weitere Anwendungen sind die Mikro- und Nanoelektronik, Mikrooptik, integrierte Optik, Photonik, Metamaterialien und Nano- und Biotechnologien. Aufgrund eines automatisierten Handlings, hoher Flexibilität, Schreibgenauigkeit und Produktivität eignen sich die Anlagen auch für Prototypen- und Kleinserienfertigung.
Neben dem Hauptstandort Jena betreibt die Firma Service & Support Zentren in Asien, USA und Europa.
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